準分子雷射光學鏡片

準分子雷射光學鏡片, 相對於市場常見的雷射鏡片, 有不同材料選擇, 研磨技術與鍍膜材料, 鍍膜技術, 等高端規格而產出的, 然能於高階高品質穩定的準分子雷射鏡片深化應用的廠商在高科技領域屈指可數. 如上所述其含諸多複合的專業供應商為市場提供合適產品

材料選擇: Fused Silica, MgF2, CaF2. 除選擇適用材料外, 依材料供應商品質不齊, 影響參數有材料純度, 不純物內容, 透光度, 折射率等.

研磨加工: 加工外型, 角度, 曲度, 研磨精度, 表面平整度, 表面刮痕等重要參數

鍍膜制程: 鍍膜材料, 鍍膜設備, 鍍膜原理, 鍍膜參數配方等之重要參數

我司供應商已具備以上完整技術方案. 提供合適應用產品

為何於準分子雷射鏡片不同於其他雷射鏡片, 主要其在DUV深紫外光波段, 故有材料使用壽命的挑戰, 鍍膜剝離脫落, 穿透率低等問題, 另其於雷射腔接觸氣體面在高反應化學氣體使用環境, 更是鍍膜品質穩定的一大考驗

Excimer Laser Annealing window

Excimer Laser Annealing Window

Excimer Laser Sealing Window

Quartz Windows

Sapphire Windows

Material: CaF, MgF