엑시머 레이저 제품

고체 레이저 및 엑시머 레이저 기술을 적용한 시스템 제품으로, 레이저 정밀 가공 공정을 위한 맞춤형 통합 솔루션을 제공합니다. 레이저 광원을 사용하는 기술에는 정밀한 광학 시스템의 설계와 올바른 레이저 광원의 선택이 필요합니다. 제조 공정을 준수하는 정밀 레이저 가공 시스템의 매우 안정적이고 정밀한 위치 결정 플랫폼 통합, 시스템 통합 및 최적화.

• 기계시스템 설계/개발

• 응용 소프트웨어 제어 개발

• 광학렌즈 시스템 설계/개발

• 레이저 광원 통합

• 고정밀 포지셔닝 시스템 광원 통합

공정 적용 : 엑시머 레이저 템퍼링 ELA, DPSS 레이저 스크라이빙(레이저 커팅, 레이저 스크라이빙), 레이저 드릴링(레이저 드릴링), 레이저 패턴 가공(레이저 패터닝), 레이저 금속 드릴링, 레이저 레이저 커팅, 레이저 엣지 삭제, 레이저 클린, 레이저 절제(LLO, 레이저 리프트오프, LDB, 레이저 디본딩/레이저 절제)

고정밀 응용제품 : FPD 패널 디스플레이(LTPS, SLS, OLED, AMOLED, Micr-LED 디스플레이), IGBT, CMOS 센서, X-Ray 센서, GaN LED, 태양광발전(PV Solar), 반도체(Semiconductor), 전자종이(E Paper)

레이저 종류 : UV 레이저(266nm, 355nm), 녹색 레이저(532nm), 적색 레이저(1064nm), 펨토 레이저(Femto 레이저), 피코초 레이저(Pico 레이저), 디스크 레이저(DISC 레이저), 파이버 레이저(Fiber 레이저) , 엑시머 레이저(Excimer Laser)

광학계 : 엑시머 레이저 튜브 윈도우, 빔 스플리터, OC 렌즈, 레이저 템퍼링 윈도우(어닐링 윈도우, 씰링 윈도우, 프로젝션 윈도우)