top of page

エキシマレーザー製品

エキシマレーザーモデル

​ラムダスチールシリーズ、LSXシリーズ、LPXシリーズおよびプロタイプ、COMPexシリーズ

EmbeddedImage (1)_edited.png
2023-12-05_123833.png
EmbeddedImage.png

エキシマレーザーシステム
ラムダシリーズ
ラムダスチールシリーズ

-LS670
-LS1000
- L1000
- L2000
-L3000

エキシマ・レア・システム
ラムダSX/LSXシリーズ

-LSX200C
-LSX315C

エキシマレーザーシステム
LPXシリーズ
COMPexシリーズ

-LPX100
-LPX200/プロ
-LPX300/プロ
-コンペックス100
-コンペックス200

​エキシマ レーザー修理技術サービス

完全なレーザー システム メンテナンス ソリューション

Excimer Laser Gases EmbeddedImage.jpg
截圖 2023-11-06 晚上9.56.04.png

エキシマレーザーガス

- 波長308nm、248nm、193nm用のエキシマレーザーガス

- 308nm、HCL / Xe / ネオン

- 248nm、KrFガス、混合ガスM96H

- 193nm、ArFガス、混合ガス M98H


エキシマレーザー光学系

- エキシマレーザー レーザー管窓
- エキシマレーザーアニーリングウィンドウ
- エキシマレーザー光学系
- エキシマレーザー BDS / ビームデリバリーシステム

エキシマレーザー部品修理サービス

- エキシマレーザー管の改修
- HVPS 高電圧電源
- HVPS 802シリーズ、LC1202シリーズ
- HHT / KEBA KeTop C50 修理
- ビームシャッター修理
- GP CRYO 修理/改修
- Thyrtron 電源モジュールの修理
- トリガーボードの修理

エキシマ レーザー製品、エキシマ レーザー システム、エキシマ レーザー アプリケーション向けの RichEnergy テクノロジー サービスおよびシステム

bottom of page