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エキシマレーザー製品
エキシマレーザーモデル
ラムダスチールシリーズ、LSXシリーズ、LPXシリーズおよびプロタイプ、COMPexシリーズ
エキシマレーザーシステム
ラムダシリーズ
ラムダスチールシリーズ
-LS670
-LS1000
- L1000
- L2000
-L3000
エキシマ・レア・システム
ラムダSX/LSXシリーズ
-LSX200C
-LSX315C
エキシマレーザーシステム
LPXシリーズ
COMPexシリーズ
-LPX100
-LPX200/プロ
-LPX300/プロ
-コンペックス100
-コンペックス200
エキシマ レーザー修理技術サービス
完全なレーザー システム メンテナンス ソリューション
エキシマレーザーガス
- 波長308nm、248nm、193nm用のエキシマレーザーガス
- 308nm、HCL / Xe / ネオン
- 248nm、KrFガス、混合ガスM96H
- 193nm、ArFガス、混合ガス M98H
エキシマレーザー光学系
- エキシマレーザー レーザー管窓
- エキシマレーザーアニーリングウィンドウ
- エキシマレーザー光学系
- エキシマレーザー BDS / ビームデリバリーシステム
エキシマレーザー部品修理サービス
- エキシマレーザー管の改修
- HVPS 高電圧電源
- HVPS 802シリーズ、LC1202シリーズ
- HHT / KEBA KeTop C50 修理
- ビームシャッター修理
- GP CRYO 修理/改修
- Thyrtron 電源モジュールの修理
- トリガーボードの修理
エキシマ レーザー製品、エキシマ レーザー システム、エキシマ レーザー アプリケーション向けの RichEnergy テクノロジー サービスおよびシステム
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